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3Dハイブリッド光学外観検査装置 YRi-V 概要

超高速、高精度な3D検査を実現した全市場向けの万能型光学外観検査装置。同軸照明の搭載、5μmレンズのラインナップ追加によりデバイス市場領域の高精度検査に対応。

3Dハイブリッド光学外観検査装置 YRi-V
3Dハイブリッド光学外観検査装置 YRi-V

超高速、高精度な3D検査を実現した全市場向けの万能型光学外観検査装置。同軸照明の搭載、5μmレンズのラインナップ追加によりデバイス市場領域の高精度検査に対応。

  • 超高速3D検査 56.8cm2/sec(当社最適条件)
  • 超高精度3D検査 8方向プロジェクター
  • 4方向斜め画像検査 2,000万画素4アングルカメラ
  • デバイス検査 超高分解能 5µm/同軸照明

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