ウエハ供給対応ハイブリッドプレーサー ボンダー・i-CubeIID 特長
ウエハ供給ベアチップ搭載機能をオールインワンでシステムアップ、6,000CPH(0.6秒/chip換算)の高速搭載
- ウエハ供給ベアチップ搭載機能をオールインワンでシステムアップ。6,000CPH(0.6 秒/chip換算)の高速搭載。
- 繰り返し精度(3σ)±20μmの高精度を確保。
- MEMS(Micro Electro-Mechanical System)部品、電力制御ベアチップ、電流制御モジュール、CCD/CMOSセンサー、LEDチップ等の搭載組立に最適。
- 6~8インチウエハ計10枚を自在にハンドリング。
- 交換式ノズル/角錐コレット、プログラム選択式突き上げユニットにより、□0.2~□15mmサイズのベアチップに対応。
- ウエハ供給のベアチップはもちろん、一般の表面実装用テープリール部品も搭載可能。
- ウエハ認識カメラを専用XY駆動軸で移動させ、ベアチップ搭載の高速性と高精度を実現。
- 対応可能基板サイズ:L30×W30(W50)mm~L300×W150(W105)mm
ウエハ認識カメラ
突き上げユニット
i-CubeIID 動作平面の配置例
オプション装備
- 後側液晶モニター・キーボード・マウス・オペレーションパネル
- タッチパネル機能
- イオナイザー
- 8連フィーダープレート
- ANCステーション
- サイド照明付きマルチカメラ