クリーン直交ロボット XY-XCタイプ　特長

XY-XCタイプクリーン直交ロボット

直交ロボットのクリーンルーム対応モデルです。
耐久性に優れたステンレスシートを採用することで開口部を最小に設計し、少ない吸引量で高クリーン度を実現しています。

クリーン度 : クラス10相当（ISO14644-1）
^*0.1µmベース1cfあたり、吸引ブロア使用時。

• 吸引量：
  60～90Nℓ/min
• クリーン度：
  CLASS10^*
• 最大可搬質量：
  20kg
• 最高速度：
  1000mm/sec

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ユーザー配線：D-Sub 25PIN コネクタ(1～24番結線済・25番フレームグランド)

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ユーザー配管：6 エアチューブ3本