クリーン単軸ロボット SSCタイプ （TRANSERVOシリーズ）　特長

SSCタイプ（TRANSERVOシリーズ）クリーン単軸ロボット

低価格小型単軸ロボットTRANSERVOシリーズのクリーンルーム対応モデルです。吸引用エア継ぎ手を標準装備し、グリスは低発塵グリスを使用。スライドテーブル面には耐久性に優れたステンレスシートを装着することで高クリーン度を達成しました。
垂直使用も可能です。
クリーン度 : クラス10相当（ISO14644-1）
^*0.1µmベース1cfあたり、吸引ブロア使用時。

• ストローク：
  50～800mm
• 吸引量：
  15～80Nℓ/min
• クリーン度：
  CLASS10
• 最大可搬質量：
  12kg(水平使用時)