クリーン単軸ロボット FLIP-XCタイプ （FLIP-Xシリーズ）

FLIP-XCタイプ （FLIP-Xシリーズ）クリーン単軸ロボット

単軸ロボット「FLIP-X シリーズ」のクリーンルーム対応モデルです。吸引用エア継ぎ手を標準装備しグリスは低発塵グリスを使用。スライドテーブル面には耐久性に優れたステンレスシートを装着することで高クリーン度を達成しました。

クリーン度 : クラス3相当（ISO14644-1）C4L/C4LH、C5L/C5LH、C6L
クリーン度 : クラス10相当（FED-STD-209D）上記以外モデル
^*0.1µmベース1cfあたり、吸引ブロア使用時。

• ストローク：
  50～2050mm
• 吸引量：
  15～90Nℓ/min
• クリーン度：
  CLASS10^*
• 最大可搬質量：
  120kg(水平使用時)

※

C4L/C4LH、C5L/C5LH、C6Lは、CLASS ISO3(ISO14644-1)となります。